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CY-O1200BG-Φ50-100×100-V-T是一款小型的1100℃布里奇曼單晶生長爐,配有2英寸的石英管,精密提拉機(jī)。用于在氣氛保護(hù)環(huán)境下或密封石英坩堝環(huán)境下生長小尺寸的晶體。
Bridgeman法晶體生長過程
把晶體生長的原料裝入合適的容器中,在具有單向溫度梯度的Bridgman晶體生長爐內(nèi)進(jìn)行生長。Bridgman晶體生長爐通常采用管式結(jié)構(gòu),為3個(gè)區(qū)域(加熱區(qū)、梯度區(qū)和冷卻區(qū))。加熱區(qū)的溫度高于晶體的熔點(diǎn),冷卻區(qū)低于晶體熔點(diǎn),梯度區(qū)的溫度逐漸由加熱區(qū)溫度過渡到冷卻區(qū)溫度,形成一維的溫度梯度。首先將坩堝置于加熱區(qū)進(jìn)行熔化,并在一定的過熱度下恒溫一段時(shí)間,獲得均勻的過熱熔體。然后通過爐體的運(yùn)動(dòng)或坩堝的移動(dòng)使坩堝由加熱區(qū)穿過梯度區(qū)向冷卻區(qū)運(yùn)動(dòng)。坩堝進(jìn)入梯度區(qū)后熔體發(fā)生定向冷卻,首先達(dá)到低于熔點(diǎn)溫度的部分發(fā)生結(jié)晶,并隨著坩堝的連續(xù)運(yùn)動(dòng)而冷卻,結(jié)晶界面沿著與其運(yùn)動(dòng)相反的方向定向生長,實(shí)現(xiàn)晶體生長過程的連續(xù)進(jìn)行。
圖1 Bridgman法晶體生長的基本原理
(a)基本結(jié)構(gòu); (b)溫度分布。
Bridgman法晶體生長一般分為:
垂直Bridgman法
(圖1.所示)坩堝軸線與重力場(chǎng)方向平行,高溫區(qū)在上方,低溫區(qū)在下方,坩堝從上向下移動(dòng),實(shí)現(xiàn)晶體生長。該方法是*常見的Bridgman法,稱為垂直Bridgman法。
水平Bridgman法
水平Bridgman法其溫度梯度(坩堝軸線)方向垂直于重力場(chǎng)。垂直Bridgman法利于獲得圓周方向?qū)ΨQ的溫度場(chǎng)和對(duì)流模式,從而使所生長的晶體具有軸對(duì)稱的性質(zhì);而水平Bridgman法的控制系統(tǒng)相對(duì)簡(jiǎn)單,并能夠在結(jié)晶界面前沿獲得較強(qiáng)的對(duì)流,進(jìn)行晶體生長行為控制。同時(shí),水平Bridgman法還有利于控制爐膛與坩堝之間的對(duì)流換熱,獲得更高的溫度梯度。此外,也有人采用坩堝軸線與重力場(chǎng)成一定角度的傾斜Bridgman法進(jìn)行晶體生長。而垂直Bridgman法也可采用從上向下生長的方式。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 |
1100℃布里奇曼單晶生長爐 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-O1200BG-Φ50-100×100-V-T |
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工作電壓: |
220V |
*大功率 |
1.5 KW |
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兩個(gè)加熱區(qū) |
每個(gè)加熱區(qū)長度100 mm ,總加熱區(qū)長度200 mm L |
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*高工作溫度 |
1200°C |
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連續(xù)工作溫度 |
1100°C |
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兩個(gè)可編程數(shù)字溫度控制器,分別控制兩個(gè)加熱區(qū)l *大溫度梯度:1oC/Cm |
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用戶需要探索所長晶體*合適的溫度梯度 |
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調(diào)節(jié)兩個(gè)加熱區(qū)的溫度,來形成不同的溫度梯度 |
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調(diào)節(jié)爐體的開啟大小,也可以改變溫度梯度 |
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石英管(2英寸石英管(50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)帶有密封法蘭) |
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鉑絲:*高可承受溫度1600℃ 懸掛絲可穿過法蘭,若爐管內(nèi)保持正壓,可在氣氛保護(hù)環(huán)境下生長晶體 對(duì)于氧敏感材料,樣品可封裝在小的石英管內(nèi) |
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電機(jī)和控制 |
速度范圍: 0.03-90 mm/h (可調(diào)),精度:+/- 0.05% 可選購更**的提拉機(jī)構(gòu),速度為:0.4mm/h 總移動(dòng)行程: 450mm 電機(jī)功率: 50W |
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產(chǎn)品尺寸 |
560mm(L) x 470mm(W) x 1235mm(H) |
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凈重 |
105公斤(230磅) |
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